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硅片抗彎強度測試機取樣方法

1、硅片抗彎強度與硅片內(nèi)在質(zhì)量和表面損傷狀況有關，一般力學參數(shù)都有一定的分散度，因此每組試樣作研究時需10片左右，抽檢時可按有關抽樣標準或供需雙方商定。

2、試樣表面應符合GB12964或GB12965要求。

3、將試樣用石臘:松香=2:1配成的粘合劑粘在玻璃板上，用直徑40mrn的割圓套頭在臺鉆上割成直徑40mrn的圓片。割圓位置規(guī)定如下:直徑小于80mm的硅片在同心圓位置;直徑80rnm以上長硅片在偏離主參考面45。位置割第一個圓。

4、試樣用適當溶劑去臘，用洗滌劑清洗潔凈，去離子水沖洗，烘干后放入干燥器中備用。